직경 295mm의 210mmx210mm M12 단결정 실리콘 태양 웨이퍼는 M2 웨이퍼보다 80.5% 더 큽습니다.
1 재질 특성
재산 | 사양 | 검사 방법 |
성장 방법 | CZ | |
결정성 | 단결정
| 특혜 에칭 기술（ASTM F47-88） |
전도도 유형 | P형 | 냅슨 EC-80TPN P/N |
도판트
| 붕소, 갈륨
| - |
산소 농도[오이] | ≦8E+17/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
탄소 농도[Cs] | ≦5E+16/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
에칭 피트 밀도(탈위치 밀도) | ≦500cm-3 | 특혜 에칭 기술（ASTM F47-88） |
표면 방향 | <100>±3° | 엑스레이 회절 방법(ASTM F26-1987) |
의사 사각형 측면의 방향 | <010>,<001>±3° | 엑스레이 회절 방법(ASTM F26-1987) |
2 전기적 특성
재산 | 사양 | 검사 방법 |
저항력 | 0.5-1.5 Ωcm | 웨이퍼 검사 시스템 |
MCLT (소수 캐리어 수명) | ≧50 μs | 신턴 BCT-400 (사출 수준: 1E15 센티미터-3) |
3 기하학
재산 | 사양 | 검사 방법 |
기하학 | 풀 스퀘어 | |
웨이퍼 사이드 길이 | 182±0.25mm | 웨이퍼 검사 시스템 |
웨이퍼 직경 | φ247±0.25 mm | 웨이퍼 검사 시스템 |
인접한 측면 사이의 각도 | 90° ± 0.2° | 웨이퍼 검사 시스템 |
두께 | 180﹢20/﹣10 μm; 170﹢20/﹣10 μm | 웨이퍼 검사 시스템 |
TTV(총 두께 변동) | ≤27 μm | 웨이퍼 검사 시스템 |
4 표면 속성
재산 | 사양 | 검사 방법 |
절단 방법 | DW | -- |
표면 품질 | 절단 및 세척으로 눈에 보이는 오염이 없습니다 (기름 또는 그리스, 지문, 비누 얼룩, 슬러리 얼룩, 에폭시 / 접착제 얼룩은 허용되지 않습니다) | 웨이퍼 검사 시스템 |
톱 마크 / 단계 | ≤ 15μm | 웨이퍼 검사 시스템 |
활 | ≤ 40 μm | 웨이퍼 검사 시스템 |
날실 | ≤ 40 μm | 웨이퍼 검사 시스템 |
칩 | 깊이 ≤0.3mm 및 길이 ≤ 0.5mm 최대 2/pcs; V 칩 없음 | 육안 눈 또는 웨이퍼 검사 시스템 |
마이크로 균열 / 구멍 | 허용되지 않음 | 웨이퍼 검사 시스템 |
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