길이 166mm, 직경 223mm의 P형 M6 단결정 실리콘 태양광 웨이퍼는 M2 웨이퍼보다 12.21% 크다. 이는 M6 기판으로 만들어진 태양 전지가 M2 기판으로 만들어진 태양 전지보다 12.21% 더 높은 전력 출력을 갖게 된다는 것을 의미합니다.
1 재료 속성
특성 | 사양 | 검사 방법 |
성장 방법 | CZ | |
결정도 | 단결정 | 우선적인 에칭 기법（ASTM F47-88） |
전도도 유형 | P형 | 냅슨 EC-80TPN P/N |
도펀트 | 붕소, 갈륨 | - |
산소 농도[Oi] | ≦8E+17 at/cm3 | FTIR(ASTM F121-83) |
탄소 농도[Cs] | ≦5E+16 at/cm3 | FTIR(ASTM F123-91) |
에칭 피트 밀도(전위 밀도) | ≦500cm-3 | 우선적인 에칭 기법（ASTM F47-88） |
표면 방향 | & lt;100>±3° | X선 회절법(ASTM F26-1987) |
유사 정사각형 면의 방향 | & lt;010>,<001>±3° | X선 회절법(ASTM F26-1987) |
2 전기적 특성
특성 | 사양 | 검사 방법 |
비저항 | 0.5-1.5Ωcm | 웨이퍼 검사 시스템 |
MCLT(소수 캐리어 수명) | ≧50 μs | 신톤 BCT-400 (주입 레벨: 1E15 센티미터-3) |
3기하학
특성 | 사양 | 검사 방법 |
기하학 | 전체 사각형 | |
웨이퍼 측면 길이 | 166±0.25mm | 웨이퍼 검사 시스템 |
웨이퍼 직경 | φ223±0.25mm | 웨이퍼 검사 시스템 |
인접한 변 사이의 각도 | 90° ± 0.2° | 웨이퍼 검사 시스템 |
두께 | 180﹢20/﹣10 µm; 170﹢20/﹣10 µm | 웨이퍼 검사 시스템 |
TTV(총 두께 편차) | ≤27 µm | 웨이퍼 검사 시스템 |
4 표면 속성
특성 | 사양 | 검사 방법 |
절단 방법 | DW | -- |
표면 품질 | 절단 및 세척 시 눈에 보이는 오염이 없음(기름 또는 그리스, 지문, 비누 얼룩, 슬러리 얼룩, 에폭시/접착제 얼룩은 허용되지 않음) | 웨이퍼 검사 시스템 |
톱 마크 / 단계 | ≤ 15µm | 웨이퍼 검사 시스템 |
활 | ≤ 40 µm | 웨이퍼 검사 시스템 |
경사 | ≤ 40 µm | 웨이퍼 검사 시스템 |
칩 | 깊이 ≤0.3mm 및 길이 ≤ 0.5mm 최대 2/개; V 칩 없음 | 육안 또는 웨이퍼 검사 시스템 |
미세 균열/구멍 | 허용되지 않음 | 웨이퍼 검사 시스템 |
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