태양 웨이퍼와 같은 방향 응고 모노상대적으로 높은 변환 효율과 낮은 생산 비용으로 인해 단결정 실리콘 웨이퍼 및 다결정 실리콘 웨이퍼에 비해 유망한 대체 웨이퍼 재료 중 하나입니다. 그러나 결정 품질을 개선하고 제조 비용을 절감할 수 있는 넓은 공간이 여전히 있어 웨이퍼를 태양광 산업으로 실질적으로 밀어넣을 수 있습니다.
1 재질 특성
재산 | 사양 | 검사 방법 |
성장 방법 | 방향 응고 | XRD |
결정성 | 단결정 | 특혜 에칭 기술（ASTM F47-88） |
전도도 유형 | P형 | 냅슨 EC-80TPN P/N |
도판트 | 붕소 | - |
산소 농도[오이] | ≦1E+17/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
탄소 농도[Cs] | ≦1E+18/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
2 전기적 특성
재산 | 사양 | 검사 방법 |
저항력 | 0.5-2 Ωcm(음막 후) | 웨이퍼 검사 시스템 |
MCLT (소수 캐리어 수명) | ≧10 μs | 신턴 QSSPC |
3 기하학
재산 | 사양 | 검사 방법 |
기하학 | 정사각형 또는 사각형 | 웨이퍼 검사 시스템 |
베벨 가장자리 모양 | 줄 | 웨이퍼 검사 시스템 |
웨이퍼 크기 (측면 길이*측면 길이) | 156mm*156mm 157mm*186mm 166mm*166mm | 웨이퍼 검사 시스템 |
인접한 측면 사이의 각도 | 90±3° | 웨이퍼 검사 시스템 |
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