출처 : mtiinstruments
ASTM F657 :
전면 및 후면의 해당 지점 사이에서 웨이퍼를 통과하는 거리입니다. 두께는 미크론 또는 밀 (수천 인치)로 표시됩니다.
총 두께 변화 (TTV)
ASTM F657 :
스캔 패턴 또는 일련의 포인트 측정 중에 발생하는 두께의 최대 값과 최소값의 차이. TTV는 미크론 또는 밀 (천분의 1 인치)로 표시됩니다.
위의 그림은 두 개의 비접촉식 측정 프로브 사이에 배치 된 웨이퍼를 보여줍니다. 상부 프로브면과 상부 웨이퍼 표면 (A)과 하부 프로브면과 하부 웨이퍼 표면 (B) 사이의 변화를 모니터링함으로써, 두께가 계산 될 수있다. 먼저 알려진 두께 ( Tw )의 웨이퍼로 시스템을 교정해야합니다. 알려진 두께의 영역이 프로브와 상부 프로브 대 웨이퍼 간극 (A) 사이에 배치되고 하부 프로브 대 웨이퍼 간극 (B)이 획득된다. 상부 및 하부 프로브 사이의 총 간격 (Gtotal)은 다음과 같이 계산됩니다.
G 총 = A + B + Tw
시스템을 보정하면 알 수없는 두께의 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. 웨이퍼가 프로브들 사이에 위치 될 때, 새로운 값 A 및 B가 획득된다. 두께는 다음과 같이 계산됩니다.
T w = G 총 – (A + B)
웨이퍼의 자동 스캐닝 동안, 일련의 포인트 측정이 수행되고 저장된다. 스캔이 완료된 후 TTV는 다음과 같이 계산됩니다.
TTV = T 최대 – T 분
비접촉식 보우 측정
ASTM F534 3.1.2 :
웨이퍼의 공칭 직경보다 작은 특정 량의 직경을 갖는 원 상에 3 개의 점으로 균등하게 이격 된 중앙 표면 기준 평면으로부터의 자유 클램핑되지 않은 웨이퍼의 중앙 표면의 중심점의 편차.
중간 표면 :
웨이퍼 내 포인트의 위치는 전면과 후면 사이에 등거리에있다. 보우를 측정하고 계산할 때 웨이퍼의 중앙 위치를 알아야합니다. 중간 표면의 편차를 측정함으로써, 웨이퍼의 중심점에서 국소화 된 두께 변화가 계산에서 제거된다.
위의 두 프로브면 사이의 웨이퍼 중간 표면의 관계는 다음과 같습니다.
D = 상단과 하단 프로브면 사이의 거리
A = 상단 프로브에서 상단 웨이퍼 표면까지의 거리
B = 하부 프로브에서 하부 웨이퍼 표면까지의 거리
Z = 웨이퍼 중앙 표면과 상단 및 하단 프로브 중간 지점 사이의 거리 (D / 2)
웨이퍼의 어느 위치에서나 Z의 값을 결정하기 위해 두 가지 방정식이 있습니다.
Z = D / 2 – A – T / 2 및 Z = -D / 2 + B + T / 2
Z에 대한 두 방정식을 모두 풀면 다음과 같이 간단히 값을 결정할 수 있습니다.
Z = (B – A) / 2
보우는 웨이퍼의 중심점에서만 측정되기 때문에, 웨이퍼 에지 주위의 3 점 기준 평면이 계산된다. 그 후, 보우의 값은 웨이퍼 중심에서의 중간 표면의 위치를 측정하고 기준면으로부터의 거리를 결정함으로써 계산된다. 활은 양수 또는 음수 일 수 있습니다. 양수는 중앙 표면의 중심점이 3 점 기준 평면 위에 있음을 나타냅니다. 음수는 중앙 표면의 중심점이 3 점 참조 평면 아래에 있음을 나타냅니다.
태양 광 산업을위한 워프 측정
ASTM F1390 :
기준 위치로부터 자유롭고 클램핑되지 않은 웨이퍼의 중간 표면의 최대 거리와 최소 거리의 차이. 휨과 같이, 휨은 웨이퍼의 중앙 표면과 기준면 사이의 차별화 측정이다. 그러나 뒤틀림 은 중심점에서의 위치 대신 웨이퍼 의 전체 중앙 표면을 사용합니다 . 웨이퍼 전체를 살펴보면 워프는 실제 웨이퍼 모양을보다 유용한 측정 값으로 제공합니다. 중앙 표면의 위치는 선수의 위치와 동일하게 정확하게 계산되며 위에 표시됩니다. 날실 결정의 경우 참조 평면을 구성하기위한 두 가지 선택이 있습니다. 하나는 웨이퍼 가장자리 주변의 동일한 3 점 평면입니다. 다른 하나는 측정 스캔 중에 획득 된 중간 표면 데이터의 최소 제곱 적합 계산을 수행하는 것입니다. 그런 다음 참조 평면 (RPD max )과 최대 편차 (RPD min )의 최대 편차를 찾아 왜곡을 계산합니다. RPD max 는 참조 평면 위의 최대 거리로 정의되며 양수입니다. RPD 최소값 은 참조 평면 아래에서 가장 큰 거리이며 음수입니다.
위의 그림은 날실 계산의 예입니다. 이 예에서 RPDmax는 1.5이며 참조 평면 위의 중앙 표면의 최대 거리로 표시됩니다. RPDmin은 – 1.5이며 참조 평면 아래 중앙 표면의 최대 거리로 표시됩니다. 휨은 항상 양수 값입니다.
날실 = 1.5 – (-1.5) = 3
또한 활 측정과 날실 측정의 유용성을 보여줍니다. 도시 된 웨이퍼의 중앙 표면은 웨이퍼 중심에서 기준 평면과 교차하므로, 활 측정은 0 일 것이다. 계산 된 휨 값은 웨이퍼가 형상 불규칙성을 사용자에게 알려주기 때문에이 경우에 더 유용하다.
