태양광 실리콘 웨이퍼 생산은 단결정 또는 다결정 실리콘 재료로 만들어진 고체 잉곳으로 시작됩니다. 와이어 톱은 잉곳을 정사각형 블록으로 만든 다음 얇은 웨이퍼로 자릅니다. 이러한 웨이퍼는 활성 PV 셀의 베이스로 사용됩니다.
실리콘 벽돌을 100~190μm 두께의 웨이퍼로 절단하는 데 사용되는 다이아몬드 절단 와이어. 따라서 웨이퍼 생산에서 생산성을 향상하고 비용을 낮추는 주요 접근 방식은 각 실리콘 브릭, 각 작업 교대 및 각 기계의 수율을 높이고 다이아몬드 와이어의 소비를 줄이는 것입니다.
실리콘 웨이퍼를 슬라이싱하는 방법에는 고정 연마제를 사용하는 방법과 슬러리 기반의 방법이 있습니다. 다이아몬드 와이어를 고정 연마재 방식으로 사용하여 고품질의 얇은 실리콘 웨이퍼를 대량으로 절단하는 기술을 짧은 시간에 개발했습니다.
다이아몬드 와이어의 장점
고정 연마재 공법으로 다이아몬드 와이어를 사용하면 가공 시간을 기존보다 단축할 수 있고 와이어 사용량을 대폭 줄일 수 있습니다. 또한 얇은 선재를 사용할 수 있어 슬라이싱 피치를 줄여 원재료 손실을 줄일 수 있다. 또한, 슬라이싱 정밀도 향상 및 제조공정 중 발생할 수 있는 크랙 및 칩 감소로 수율 향상 및 안정이 기대됨과 동시에 제조시간 단축이 가능해 대량 생산을 지원합니다.
DWS(Diamond Wire sawn) 웨이퍼 사진
표면 아래 손상은 특징 라인이 있는 절단된 태양광 웨이퍼를 덮습니다.표면/표면 아래 손상은 절단 중에 생성되는 매우 큰 응력의 결과입니다. 와이어에 가해지는 힘은 그릿으로 전달되어 그릿이 Si 표면에 묻힙니다.
다이아몬드 와이어 톱질M12/G12 태양광 웨이퍼
다이아몬드 와이어 톱질M6 태양광 웨이퍼
다이아몬드 와이어 톱질M4 태양광 웨이퍼
다이아몬드 와이어 톱질G1/158.75mm 태양광 웨이퍼
다이아몬드 와이어 톱질M2/156.75mm 태양광 웨이퍼
특정 표면 특징을 유발하는 메커니즘은 표면 거칠기와 강한 유사성을 갖는 손상도 생성합니다. 따라서 손상은 국부적인 위상 변화, 취성 파괴 및 미세 쪼개짐에 의해 생성된 미세 균열, 소성 변형에 의해 생성된 전위가 있는 방향성 "긁힘"으로 나타납니다.